央广网北京7月25日消息(记者 曹倩 实习生 谢容容)“在过去二十年里,我们的自主可控进程总体进展顺利,目前主要零部件的自主可控率已达到90%以上,到今年第三季度末可以达到100%。”中微公司董事长、总经理尹志尧日前做客《沪市汇·硬科硬客》第十期节目“半导体设备突围关键局”时表示。
据尹志尧介绍,中微公司的等离子体刻蚀机,包括高能CCP及低能ICP刻蚀机,可以全面取代国际先进设备。化学薄膜设备的覆盖度也逐步扩大,特别是在导体薄膜及EPI外延设备取得极快的进展。接下来,公司将尽快开发出电子束检测设备,以补齐行业短板。
尹志尧表示,尽管在半导体设备领域,中国离国际最先进水平还有相当一段距离,但相信再用五至十年时间,达到国际最先进水平的目标完全可以实现。
尹志尧透露,中微公司近期决定将尽快开发出电子束检测设备,这是国内除了光刻机以外最大的短板。
尹志尧特别强调产业链协同极其重要,“理想状态下,全球集成电路产业应该是互相协同的。它牵扯了几千个步骤,上下游链非常强,很少能有一个国家或企业能从上到下全部打通。”尹志尧表示。
“我在整个半导体设备行业都没有看到瓶颈,技术上也没有越不过去的坎。还是要咬紧牙关,一步一步有耐心地往下做,一定可以做好。”尹志尧认为,不能把鸡蛋放在一个篮子里,中微未来几年甚至十几年,都将围绕“三维立体生长”战略来展开。
中微公司董事长、总经理 尹志尧
过去二十年国产化进程整体顺利
近年来,国内半导体设备实现了从无到有、从弱到强的质的飞跃,高端设备自给率逐步提升。
据国际半导体产业协会(SEMI)、日本半导体制造装置协会(SEAJ)统计数据,2023年全球芯片设备(新品)销售额为1062.5亿美元,同比萎缩1.3%。中国市场销售额年增29%至366亿美元,连续第四年成为全球最大芯片设备市场。
“在国内外竞争越来越激烈的情况下,我们没有别的选择,一定要有自主可控、自立自强的精神,使我们国产设备尽快达到国际先进水平,甚至在部分领域超过国际先进水平。”尹志尧表示,在过去二十年里总体进展顺利,未来也很有信心不断提高竞争力和市场覆盖度。
谈及中微公司近年来取得的重大突破和成就,尹志尧表示,公司自2004年创办的前十年,只集中精力开发了高能等离子刻蚀机(CCP)这一种设备,后十年又开发出低能等离子刻蚀机(ICP)和MOCVD设备。最近几年,中微公司则在扩展化学薄膜设备的门类和市场准入等方面发力。
“我们的离子体刻蚀机,包括高能CCP及低能ICP刻蚀机,可以全面取代国际先进设备。化学薄膜设备的覆盖度也逐步扩大,特别是在导体薄膜及EPI外延设备取得极快的进展。”尹志尧介绍。
2019年8月,中微公司公告,基于经营战略发展考虑,拟对睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称“上海睿励”)投资1375万元,此次投资完成后,中微公司持股10.41%。经历过几轮增资,目前,中微公司对上海睿励的持股比例达到36.49%。
上海睿励的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。
尹志尧透露,中微公司近期决定,尽快开发出电子束检测设备,这是国内除了光刻机以外最大的短板。
谈及保障供应链安全的具体措施,尹志尧表示,供应链其实是最核心的东西。
“我们只是设计设备,里面成千上万的零部件,几乎没有一个是自己做的。我们600多个供应厂商遍布全世界,如果搞不定他们,只要有一个供应厂商不跟你玩了,那当时就死掉了。”尹志尧表示。
“我们做了大量努力和供应链厂商紧密沟通,去确认他们能给我们按时且保质保量地供货。今年夏天左右,我们基本上可以做到自主可控。”尹志尧表示,目前中微主要零部件的自主可控率已达到90%以上,到今年第三季度末可以达到100%。
推动科技与技术发展有三大要素
在尹志尧看来,推动科技与技术发展的最重要因素有三,包括资金、人才和耐心。
资金是影响半导体设备产业发展的重要因素。尹志尧进一步指出,股本金、低息贷款和研发项目资助是企业,尤其科创企业需要的三个主要资金。中微已经实现了盈利,公司最需要的资金不再是股本金,而是研发项目资助。
“集成电路在国外已持续发展近40年,我们大力发展集成电路产业时,面临的最大问题是不对称竞争。”尹志尧指出,国际大公司的体量是国内几十甚至上百倍,国内公司研发经费短缺,制程上又落后3-5代。要在极短的时间内补上短板,开发出70%-80%的半导体设备,需要大量研发经费。
“这光靠一家企业单打独斗还是不够的,企业需要政府各方面的支持,提供研发资助。”尹志尧同时表示,“当然,产业也是仰仗着国家改革开放,发展势头才如此迅猛,现在已经有不下100家设备公司,规模较大的有20多家。”
关于人才,尹志尧的见解是,对于科创外企业而言,有钱很重要,但人才更重要。
“美国在将近40年时间里,开发出不下10种国际先进设备,而这些设备百分之七八十是中国留学生干起来的。好在如今相当一部分人已经回国,在各个领域发挥重要作用。”尹志尧表示。
企业兼具了钱和人才,接下来就很考验耐心,需要“慢工出细活”。
“这行业真不能着急,就像我们的刻蚀机水平从微米到纳米,现在已经做到了皮米水平,大约是人头发丝的350万分之一。这个准确度,不是吹牛可以吹出来的。”尹志尧表示。
五至十年能达到国际最先进水平
根据国际半导体产业协会(SEMI)、日本半导体制造设备协会(SEAJ)6月6日公布的统计数据,2024年第一季度,全球半导体设备(新品)销售额为264.2亿美元,同比下滑2%。
与此同时,中国大陆却逆势大增113%,连续四个季度成全球最大半导体设备市场。而125.2亿美元的销售额,占据全球47.4%的市场份额,将近一半。
“我们非常欣喜地看到,中国上百个设备公司都在拼命努力,发展速度特别快。成熟的公司有20多家,几乎涵盖了半导体十大类设备的所有门类。”尹志尧表示。
他同时坦言,在半导体设备领域,中国离国际最先进水平,还有相当一段距离。而当前国际形势下,中国企业打开国际市场也面临更大阻碍。
“国内可以提供的设备占集成电路生产线的百分比,保守一点说15%是没问题的,进取的说法是30%,甚至高一点也都有可能。”尹志尧表示。
毫无疑问,对于行业的发展,尹志尧是充满信心的,认为再用五年、十年时间,达到国际最先进的水平是完全可以实现的。
“我们也不能放弃在国外打市场的计划,短期内大部分市场在国外的事实没有改变,我们还要继续努力。”尹志尧表示。
立足公司个体在国际的站位,尹志尧指出,中微的刻蚀机可以覆盖绝大部分刻蚀机应用,但由于公司的客户群处在技术领先位置,和国外还是差了两三代,仍有一定距离需要追赶。
从能力上看,中微基本和国外设备公司处在同一水平,且可以提供双台机和单台机两种选择,而国际几大设备厂商只有单台机,这是中微公司独特的亮点所在。
“我们在国际第一流的芯片生产线,已经有600多个反应台全是双台机。可以说,我们已经达到国际先进水平。”尹志尧相信,和拓荆科技合作后,也可以逐渐覆盖绝大部分化学薄膜设备。
对于中国半导体设备市场的发展进程,广发证券发展研究中心总经理许兴军表示,高端设备正处于起步阶段,市场对于它的疑虑是,能否接上成熟制程这部分的成长趋势。
对此,尹志尧表示,中微公司约70%的销售集中在先进制程,且扩展速度很快。整个半导体设备行业都没有看到瓶颈,技术上也没有越不过去的坎。
“还是要咬紧牙关,一步一步有耐心地往下做,一定可以做好。”尹志尧指出,有几个领域需要特殊的做法,比如光刻机、电子束检测、离子注入等,国内还有较大市场空白。
基于当前的国际形势而呈现出的一个趋势是,整个半导体产业链都越来越趋向于做本地化配套。中国作为全球最大的半导体消费市场,整体产能也确实陆续在往中国转移。
对于这一趋势,尹志尧认为,理想状态下,全球集成电路产业应该是互相协同的。它牵扯了几千个步骤,上下游链非常强,很少能有一个国家或企业能从上到下全部打通。
“本土化是没有办法的选择,但对我们来讲也是一个激励。本来我觉得至少还得三五年、十年来解决,但看到很多公司都拼命跟上在做,可能质量和水平上有一定差距,至少可以替代。”尹志尧认为,行业会继续努力做下去,同时也要主张国际合作,不应该关起门。
乘顺风船向“三维立体”发展
展望未来3-5年,国内半导体设备厂商还有多大成长空间?如何规划公司的发展战略和经营目标?
尹志尧表示,不能把鸡蛋放在一个篮子里。中微未来几年甚至十几年的发展战略,都会围绕“三维立体生长”来展开。
第一维是集成电路设备,中微公司会继续扩大在刻蚀设备领域的竞争优势,延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域。
第二维是泛半导体设备,公司将借助现有技术积累,扩展布局显示、微机电系统、功率器件、太阳能领域的关键设备。
中微公司还在规划第三维的发展,围绕自身核心竞争力,通过自主创新、有机生长,结合适当的投资、兼并策略,不断推动企业健康发展。
“总体而言空间很大,光一个薄膜设备就是300-500亿的市场。中国的集成电路产业还没碰到大起大伏的周期,现在也保持着较快的增长,所以要乘着顺风船,把自己的事做好。”尹志尧表示。
谈及未来在整个国际市场的发展路径,尹志尧认为,有两个国际市场有机会打开。
一是公司产品能在国外销售,且成本低、输出量高、效率高,能给客户带来成本节省。二是技术“独此一家”,有勇气开发出国外没有的设备,能适应最严苛的要求。
“过去五六十年,我国集成电路没有什么革命性的变化,只是把东西越做越小。在这个过程中,光刻机的关键作用在减弱,而刻蚀、薄膜和其他设备的关键作用在增强,这对我们是个很好的机会。”尹志尧表示。
尹志尧认为,AI领域也潜藏着巨大的市场。但AI不是一场革命,只是数码产业的一个应用,它跑不出数码产业,也跑不出集成电路。
尹志尧还建议,国内企业要重视从2D显示到3D显示的结构变化,加速大力开发D器件和3DChiplet,这会是巨大的应用领域。
“将来不管是iPad、电脑、电视机或者大屏幕,最后都变成真正的3D,这里面需要大量的计算和存储能量,这也是很好的机会,要引起行业足够的重视。”尹志尧表示。(央广资本眼)
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