【编者按】因地制宜发展新质生产力,是江苏推动高质量发展的核心战略路径。作为全国制造业集群规模最大的省份,江苏以科技创新为引擎,统筹推进传统产业升级、新兴产业壮大、未来产业培育。为生动讲述新质生产力在江苏从“概念”到“遍地开花”的精彩故事,央广网江苏频道策划推出融媒体专栏《你好,新质造》。本期,我们走进华润微电子有限公司,看这家功率半导体领军企业如何用一张张“精密底片”雕刻中国半导体产业的创新刻度。

一块芯片的诞生,从一张“底片”开始。

在半导体制造流程中,掩模版是连接设计图纸与晶圆产线的核心载体,它的精度直接决定了芯片性能的上限。“如果掩模质量不达标,整片晶圆都可能报废。”华润微电子有限公司董事长何小龙说。

聚光光学检验,甄别掩模版表面微粒瑕疵(央广网发 华润微电子有限公司供图)

过去,高端掩模长期依赖进口。而现在,公司已经在江苏无锡实现了90nm掩模的稳定量产,成功构建55nm、40nm工艺平台,并持续向28nm等先进节点推进。这一跃升,背后是一场与物理极限的博弈。团队负责人回忆,攻关超高精度图形制作时,团队成员连续数月驻守产线,在图形转换、材料适配、精密检测等关键阶段实现了重要突破。“这要求我们在接近物理极限的尺度上,实现近乎完美的工艺一致性,我们最终用系统协同把它变成了现实。”

在何小龙看来,半导体行业的新质生产力,核心是从规模驱动转向创新驱动、从单一环节转向融合发展、从常规运营转向数字引领。重庆12吋产线提前一年半达成月产出3万片目标;高端功率器件已批量上车;深圳12吋特色模拟集成电路生产线聚焦特色工艺集成电路制造与研发,工艺节点覆盖90nm、55nm、40nm,并向28nm技术演进;先进封测基地模块营收持续攀升……

8吋CVD生产车间(央广网发 华润微电子有限公司供图)

在转型过程中,行业仍面临高端复合型人才短缺、产业链关键环节短板、长期投入与短期回报平衡三大共性挑战。对此,华润微向内推出“数字人才计划”培育专业团队,向外加强产业链协同攻关,以战略聚焦与精准投入相结合的方式,在破局挑战中稳步前行,既坚守技术攻坚的定力,也注重阶段性成果的落地。

面向未来,华润微电子画出了一张更长的增长路线图。从消费电子、工业控制、新能源汽车向AI、机器人、低空经济等新兴领域延伸,以特色工艺平台为支撑,将功率半导体、智能传感器、智能控制的应用场景不断拓宽。加快碳化硅、氮化镓等技术的产业化进程,在智能驾驶、光量子信息等方向开展前瞻研发,为长期发展培育新动能。

“新质造的本质,是让创新从实验室走进生产线,从样品变成产品,最终成为产业竞争力。”何小龙说。在这条路上,每一张“精密底片”的雕琢,都是中国半导体向价值链高端跃迁的刻度。

监制:伏成镭

策划:栾永胜

记者:李婕

海报设计:王宣宣

编辑:吕倩媛
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